傳感器微型化，是當今傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向之一，也是微機械電子（微機電）系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical Systems，MEMS)技術(shù)發(fā)展的必然結(jié)果。MEMS技術(shù)，是當前蓬勃發(fā)展的前沿技術(shù)，微傳感器是目前最為成功、最具有實用性的微機械電子系統(tǒng)裝置。微傳感器包括三個層面的含義：
1)單一微傳感器。它的一個顯著特點就是尺寸小（一般敏感元件的尺寸從毫米級到微米級、有的甚至達到納米級）．在加工中，主要采用精密加工、微電子技術(shù)以及MEMS技術(shù)，使得傳感器的尺寸大大減小。
2)集成微傳感器。將微小的敏感元件、信號處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上形成集成的傳感器。
3)微傳感器系統(tǒng)。包括微傳感器、微執(zhí)行器，可以獨立工作。此外，還可以由多個微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡或者通過其他網(wǎng)絡實現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。
微傳感器具有一系列的優(yōu)點：①體積小，重量輕；②功耗低；③性能好；④易于批量生產(chǎn)，成本低；⑤便于集成化和多功能化；⑥提高智能化水平。
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